คำอธิบาย
ซิลิคอนคาร์ไบด์เวเฟอร์ SiC, เป็นสารประกอบผลึกซิลิกอนและคาร์บอนที่มีความแข็งมากเป็นพิเศษโดยวิธี MOCVD และมีการจัดแสดงช่องว่างแถบกว้างที่เป็นเอกลักษณ์และลักษณะพิเศษอื่น ๆ ที่ดีของค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนต่ำ อุณหภูมิการทำงานที่สูงขึ้น การกระจายความร้อนที่ดี การสูญเสียสวิตชิ่งและการนำไฟฟ้าที่ต่ำกว่า ประหยัดพลังงานมากขึ้น การนำความร้อนสูงและความแข็งแรงในการสลายสนามไฟฟ้าที่แข็งแกร่งขึ้น สภาพ.ซิลิคอนคาร์ไบด์ SiC ที่ Western Minmetals (SC) Corporation สามารถจัดหาได้ในขนาดเส้นผ่านศูนย์กลาง 2″ 3' 4“ และ 6″ (50 มม. 75 มม. 100 มม. 150 มม.) พร้อมแผ่นเวเฟอร์แบบกึ่งฉนวนหรือแบบ n-type สำหรับอุตสาหกรรม และการประยุกต์ใช้ในห้องปฏิบัติการ ข้อกำหนดเฉพาะใดๆ ก็ตามสำหรับโซลูชันที่สมบูรณ์แบบสำหรับลูกค้าของเราทั่วโลก
แอปพลิเคชั่น
เวเฟอร์ซิลิกอนคาร์ไบด์ SiC 4H/6H คุณภาพสูงเหมาะสำหรับการผลิตอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ที่มีอุณหภูมิสูงและแรงดันสูงเช่น Schottky diodes & SBD, MOSFETs สวิตชิ่งกำลังสูง & JFETs เป็นต้น ยังเป็นวัสดุที่พึงประสงค์ในการวิจัยและพัฒนาทรานซิสเตอร์สองขั้วเกทฉนวนและไทริสเตอร์ในฐานะที่เป็นวัสดุเซมิคอนดักเตอร์รุ่นใหม่ที่โดดเด่น เวเฟอร์ซิลิกอนคาร์ไบด์ SiC ยังทำหน้าที่เป็นตัวกระจายความร้อนที่มีประสิทธิภาพในส่วนประกอบ LED กำลังสูง หรือเป็นสารตั้งต้นที่มีเสถียรภาพและเป็นที่นิยมสำหรับการขยายชั้น GaN เพื่อสนับสนุนการสำรวจทางวิทยาศาสตร์ที่กำหนดเป้าหมายในอนาคต
ข้อมูลทางเทคนิค
ซิลิกอนคาร์ไบด์ SiCที่ Western Minmetals (SC) Corporation มีจำหน่ายในขนาดเส้นผ่านศูนย์กลาง 2″ 3' 4“ และ 6″ (50mm, 75mm, 100mm, 150mm) พร้อมแผ่น n-type, semi-insulating หรือ dummy สำหรับการใช้งานทางอุตสาหกรรมและในห้องปฏิบัติการ . ข้อกำหนดเฉพาะใดๆ ก็ตามสำหรับโซลูชันที่สมบูรณ์แบบสำหรับลูกค้าของเราทั่วโลก
สูตรเชิงเส้น | SiC |
น้ำหนักโมเลกุล | 40.1 |
โครงสร้างคริสตัล | Wurtzite |
รูปร่าง | แข็ง |
จุดหลอมเหลว | 3103±40K |
จุดเดือด | ไม่มี |
ความหนาแน่น 300K | 3.21 ก./ซม.3 |
ช่องว่างพลังงาน | (3.00-3.23) eV |
ความต้านทานภายใน | >1E5 Ω-cm |
หมายเลข CAS | 409-21-2 |
หมายเลข EC | 206-991-8 |
เลขที่ | รายการ | ข้อกำหนดมาตรฐาน | |||
1 | ขนาด SiC | 2" | 3" | 4" | 6" |
2 | เส้นผ่านศูนย์กลาง mm | 50.8 0.38 | 76.2 0.38 | 100 0.5 | 150 0.5 |
3 | วิธีการเจริญเติบโต | MOCVD | MOCVD | MOCVD | MOCVD |
4 | ประเภทการนำไฟฟ้า | 4H-N, 6H-N, 4H-SI, 6H-SI | |||
5 | ความต้านทาน Ω-cm | 0.015-0.028;0.02-0.1;>1E5 | |||
6 | ปฐมนิเทศ | 0 °±0.5 °;4.0° ไปทาง <1120> | |||
7 | ความหนา µm | 330±25 | 330±25 | (350-500)±25 | (350-500)±25 |
8 | ที่ตั้งแฟลตหลัก | <1-100>±5° | <1-100>±5° | <1-100>±5° | <1-100>±5° |
9 | ความยาวแบนหลัก mm | 16±1.7 | 22.2±3.2 | 32.5±2 | 47.5±2.5 |
10 | ตำแหน่งแฟลตรอง | ซิลิคอนหงายขึ้น: 90° ตามเข็มนาฬิกาจากไพรม์แฟลต ±5.0 ° | |||
11 | ความยาวแบนรอง mm | 8±1.7 | 11.2±1.5 | 18±2 | 22±2.5 |
12 | TTV μm max | 15 | 15 | 15 | 15 |
13 | โบว์ μm max | 40 | 40 | 40 | 40 |
14 | วิปริต μm สูงสุด | 60 | 60 | 60 | 60 |
15 | การยกเว้นขอบ mm สูงสุด | 1 | 2 | 3 | 3 |
16 | ไมโครไพพ์ ความหนาแน่น cm-2 | <5 อุตสาหกรรม;<15, แล็บ;<50 เจ้าโง่ | |||
17 | ความคลาดเคลื่อน cm-2 | <3000 อุตสาหกรรม;<20000 ห้องปฏิบัติการ;<500,000 คนโง่ | |||
18 | ความขรุขระของพื้นผิว nm max | 1(ขัดเงา), 0.5 (CMP) | |||
19 | รอยแตก | ไม่มี สำหรับเกรดอุตสาหกรรม | |||
20 | แผ่นหกเหลี่ยม | ไม่มี สำหรับเกรดอุตสาหกรรม | |||
21 | รอยขีดข่วน | ≤3มม. ความยาวรวมน้อยกว่าเส้นผ่านศูนย์กลางของพื้นผิว | |||
22 | ชิปขอบ | ไม่มี สำหรับเกรดอุตสาหกรรม | |||
23 | การบรรจุ | ภาชนะเวเฟอร์เดี่ยวปิดผนึกในถุงอลูมิเนียมคอมโพสิต |
ซิลิคอนคาร์ไบด์ SiC 4H/6Hเวเฟอร์คุณภาพสูงเหมาะอย่างยิ่งสำหรับการผลิตอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ที่มีอุณหภูมิสูงและแรงดันสูงที่ล้ำหน้าเช่น Schottky diodes & SBD, MOSFETs สวิตชิ่งกำลังสูงและ JFET เป็นต้น นอกจากนี้ยังเป็นวัสดุที่ต้องการใน การวิจัยและพัฒนาทรานซิสเตอร์ไบโพลาร์เกตฉนวนและไทริสเตอร์ในฐานะที่เป็นวัสดุเซมิคอนดักเตอร์รุ่นใหม่ที่โดดเด่น เวเฟอร์ซิลิกอนคาร์ไบด์ SiC ยังทำหน้าที่เป็นตัวกระจายความร้อนที่มีประสิทธิภาพในส่วนประกอบ LED กำลังสูง หรือเป็นสารตั้งต้นที่มีเสถียรภาพและเป็นที่นิยมสำหรับการขยายชั้น GaN เพื่อสนับสนุนการสำรวจทางวิทยาศาสตร์ที่กำหนดเป้าหมายในอนาคต
เคล็ดลับการจัดซื้อ
ซิลิกอนคาร์ไบด์ SiC